在所有條件下均可靠07.7 大型真空傳輸門插件與L-VAT為真空閘門設(shè)定了新標(biāo)準(zhǔn)。該閘 門旨在優(yōu)化性能的三個(gè)關(guān)鍵方面：(1) 粒子排放保護(hù)，(2) 快速且可調(diào)節(jié)的循環(huán)周期以及 (3) 正常運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)，維 護(hù)工作快速且輕松。

在要求苛刻的應(yīng)用中和不斷變化的工藝條件下，凸顯出性能特性。

粒子排放保護(hù)

07.7 傳輸門插件的設(shè)計(jì)專注于出色的粒子性能。該閘門在打開(kāi) 和關(guān)閉時(shí)執(zhí)行 L 型運(yùn)動(dòng)。閥門中每個(gè)有粒子釋放風(fēng)險(xiǎn)的部分均經(jīng)過(guò)單獨(dú)封裝。比如，兩側(cè)的門導(dǎo)板采用聚四氟乙烯波 紋管封裝，壓梁的緊壓部件采用焊接金屬波紋管封裝，電纜 托架采用符合 IPA 潔凈室 1 級(jí)規(guī)范的聚四氟乙烯罩封裝。

短暫且可調(diào)節(jié)的循環(huán)周期

即使打開(kāi)和關(guān)閉的周期很短，也能讓閥門平滑地關(guān)閉，這是 07.7 傳輸門的重要特征。氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的阻尼機(jī)構(gòu)可 調(diào)整，以匹配不同的周速。這意味著 07.7 傳輸門能在關(guān)閉期間最大限度地減少?zèng)_擊，降低生成粒子的風(fēng)險(xiǎn)。此 外，側(cè)導(dǎo)板可確保閘門平滑地運(yùn)動(dòng)，以將振動(dòng)幅度降至低。磁性位置指示器 (MPI) 用于指示閘門位置，以準(zhǔn)確顯 示垂直位置和水平位置。07.7 傳輸門具有高性能大氣 閘門所需的一切特性。