61.3 高真空蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門開度的流導(dǎo)特性。61.3 蝶形控制閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置，以盡快實(shí)現(xiàn)設(shè)定壓力。

該系列產(chǎn)品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設(shè)計。即使粒子載荷高并且存在因設(shè)計而沉積的碎屑，61.3 蝶形控制閥仍能夠保持正常運(yùn)行。

61.3 系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。憑借堅固的設(shè)計、直接安裝選項(xiàng)，以及簡單且輕松的維護(hù)，61.3 系列在各個方面都令人信服。

閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽）方面的各種設(shè)計選項(xiàng)可簡化在不同真空應(yīng)用中的集成。